6月15日一早，羅晟來到了蔚藍海岸實驗室，今年下半年對于他來說最振奮的消息便是可量產(chǎn)的EUV極紫外光刻機樣機要在這段時間問世了。
    早上8點左右，羅晟來到了蔚藍海岸實驗室的一座22580平方米的無塵工作室內(nèi)，里面的人全都穿著無塵服才能進入。
    此刻，室內(nèi)有著一百多個技術(shù)人員，都是清一色的頂尖工程師，超過三分之二的人都是來自國內(nèi)精密制造領(lǐng)域各大公司的技術(shù)大拿。
    羅晟通過晟峰資本為紐帶，以光刻機為核心把這股力量于五年前柔和在一起對一個目標發(fā)起了長達五年的攻堅戰(zhàn)，這集體一死磕就是長達五年的時間。
    如果沒有晟峰資本的資金扶持，沒有蔚藍海岸的技術(shù)支持，這個團隊就不可能成型，更不可能一起死磕一個技術(shù)節(jié)點。
    “羅總來了！”
    “羅總?！?br/>     “羅總早啊。”
    眾人看到或聽到這話都停止了交流，紛紛看向了出現(xiàn)在這里的羅晟，所有人都對他尊敬有加。
    光刻機模塊太復(fù)雜了，精密部件多達數(shù)萬個，這意味著需要一個龐大的產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同，還得需要資本的長期供養(yǎng)并承擔可能血本無歸的風險。
    這幾乎是不可能做到的事情，但羅晟卻讓所有專注于這個領(lǐng)域想要成就一番事業(yè)，打破ASML壟斷的人看到了希望，如今更是未來可期。
    其實在2006年的時候就誕生了全球首臺EUV光刻機原型，由ASML推出的，2010年又造出了第一臺研發(fā)用樣機NXE3100，這一年也是羅晟發(fā)起國產(chǎn)EUV光刻機研發(fā)的元年，從這一年開始死磕這個技術(shù)痛點。
    而今年，根據(jù)外媒消息的報道，ASML在今年也即是2015年也終于造出了可量產(chǎn)的樣機，在這個研發(fā)過程中，英特爾、三星、抬積電這些半導(dǎo)體大廠的輸血絕對不少的。
    但是，國產(chǎn)EUV光刻機的研發(fā)，在輸血這個問題上，幾乎就是靠羅晟一人供養(yǎng)著，僅憑這份魄力就沒有第二個人敢這么干，因為投入的資金是天量的。
    眾人給羅晟讓開了一條道，他來到了一個透明玻璃隔離墻站著，望著隔離墻內(nèi)部的景象，此刻一臺精密的設(shè)備正在數(shù)十個工作人員的操作下進行模塊化組裝。
    “這尺寸間的藝術(shù)就是對資本最好的贊美，不枉費我耗時五年燒掉了6000多億人民幣進去?！绷_晟望著內(nèi)部的景象喃喃自語的說道，光刻機設(shè)備的開發(fā)進度他還是頗為滿意的。
    這五年來，為了打造國產(chǎn)EUV極紫外光刻機設(shè)備，每年都要投入200億美元進去，迄今為止大約1000億美元，這筆錢的出資方是蔚藍海岸和晟峰資本，除此之外沒有第三方了。
    羅晟出錢出技術(shù)，其它友商伙伴根據(jù)自己所處的領(lǐng)域分到一筆投資資金和相關(guān)技術(shù)開始圍繞這條產(chǎn)業(yè)鏈死磕，能加入這支隊伍的企業(yè)，基本都是干實事的。
    當然，也有騙錢的，五年來有十多家廠商騙了羅晟好幾十美元，這些錢算是徹底打水漂了，但這些廠商也被踢出了局，還有人被判了刑。
    這樣的風險在羅晟的可接受范圍內(nèi)，他也不會真的指望隊伍里就一個壞人都沒有，有壞人不怕，怕是有壞人沒有找出來，不過現(xiàn)在的隊伍是干凈的了。
    他們也許都有自己的小九九，羅晟不指望他們有為事業(yè)無私獻身的崇高理想，這也是不現(xiàn)實的烏托邦想法。
    但沒關(guān)系，拿市場以及共同的利益維系著就行了，拿到了既得利益就會為這份利益盡心盡力。
    在場的一位來自友商的技術(shù)負責人走到羅晟旁邊，“羅先生，光刻機的主要性能指標，支持基片的尺寸范圍、分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產(chǎn)效率等技術(shù)痛點目前都已經(jīng)解決了?！?br/>     羅晟點點頭，問道：“光源系統(tǒng)方面的技術(shù)問題呢？”
    對方立即回道：“也基本解決了?！?br/>     羅晟：“基本？那就是還沒完全解決了，盡快解決?！?br/>     值得一提的是，EUV光源系統(tǒng)的組成，光源由光的產(chǎn)生、光的收集、光譜的純化與均勻化三大單元組成，相關(guān)的工作元器件主要包括大功率CO2、激光器、多層涂層鏡、負載、光收集器、掩膜版、投影光學(xué)系形成等離子體，等離子利用多層膜反射鏡多次反射凈化能譜，從而獲得13.5納米的EUV光。
    僅僅是這么一個光源的問題就要牽涉到了十多家廠商來研發(fā)配套，足見這玩意制造難度之高了，僅僅是砸足夠的錢還是次要的，技術(shù)更是重要，國內(nèi)相關(guān)的廠商實際上又沒有核心科技。
    但好在羅晟自己掌握的技術(shù)再通過小娜的針對EUV光刻機的補全模擬獲得了相應(yīng)的技術(shù)，然后把技術(shù)分發(fā)給各大廠商按標準制造，同時也把技術(shù)授權(quán)給他們。
    正因為技術(shù)授權(quán)這一點，才能把各大廠商維系在一起。
    靠覺悟和理想？
    羅晟雖然喜歡這么說，但他從來不會去這么做。
    否則這么復(fù)雜的鏈條，一旦某個環(huán)節(jié)的廠商鬧情緒大家都干瞪眼，這是羅晟不能允許的發(fā)生的事情，投入的資金成本、時間成本、沉沒成本都是天文數(shù)字，必須要給他們一點掣肘，否則隊伍就不好帶了。
    關(guān)于極紫外光刻機的命名早已經(jīng)被確定了，代號“紫星光刻機”，這也是國產(chǎn)自主研發(fā)不依靠國外技術(shù)當時的最先進的光刻機設(shè)備。
    紫星光刻機的問世，將宣告著國產(chǎn)光刻機設(shè)備與ASML旗下的EUV光刻機處于同一梯隊，徹底打破了頂尖光刻機設(shè)備被外國人壟斷的局面。
    羅晟收回目光看向在場的各大廠商派來協(xié)同的技術(shù)大拿們說道：“紫星光刻機可以使用波長13.5納米的極紫外光，從而實現(xiàn)14納米、10納米、和7納米制程的芯片生產(chǎn)，而通過技術(shù)迭代升級，未來也可以實現(xiàn)9納米、8納米、6納米、5納米、4納米乃至3納米等制程的芯片生產(chǎn)?！?br/>     “技術(shù)升級方案蔚藍海岸實驗室一直在做，升級迭代必須是協(xié)同的，有需要的時候各大供應(yīng)鏈伙伴來我這里要技術(shù)授權(quán)分發(fā)即可，諸位回去之后順帶把話帶給你們的老總，我就不跟他們一一聯(lián)系了?！?br/>     眾人都連連點頭，這種模式簡單的說研發(fā)尤其理論端，蔚藍海岸實驗室在做這些。
    供應(yīng)鏈伙伴負責把羅晟的想法實現(xiàn)，就是把實物按標準造出來，這沒有誰更難一說，都很難，只不過創(chuàng)造性相對難一點。
    要知道，把這些技術(shù)交給隔壁的三哥，讓他們照著抄也搞不定，把東西按標準造出實物設(shè)備也是要有底子才行，這是制造業(yè)的底子。
    ……</br>