第二百四十四章 超紫外激光!波長(zhǎng)1.5nm!功率2000w!(2)
時(shí)間轉(zhuǎn)眼就到了第二天。
測(cè)試結(jié)果非常喜人,昆侖集團(tuán)的光學(xué)系統(tǒng),包括最重要的物鏡在內(nèi),一次就點(diǎn)亮了,并且成功流片。
但與此同時(shí),這次實(shí)驗(yàn)也發(fā)現(xiàn)了不小的問題,中科光電院負(fù)責(zé)的光源,波長(zhǎng)雖然達(dá)標(biāo),但卻存在功率太低的問題,導(dǎo)致硅片曝光不夠,即便用系統(tǒng)饋贈(zèng)的光學(xué)系統(tǒng)和超級(jí)物鏡,也沒辦法挽救。
“情況怎么樣了?”
高原跑去睡了一覺,回到實(shí)驗(yàn)室打了個(gè)哈欠。
楚落落小臉煞白,這可憐的孩子,激動(dòng)加擔(dān)心,令她昨晚都沒睡好,而高原就不同了,他不僅舒舒服服睡一覺,還順便進(jìn)入系統(tǒng)空間學(xué)習(xí)知識(shí)。
“還在調(diào)整光源,他們太拖后腿了,我看實(shí)在不行,就用咱們自己的光源吧!”楚落落心思單純,也沒有多想,當(dāng)即說道。
高原蹙眉,看著實(shí)驗(yàn)室里,一群穿著白色防塵服的工程師,正在對(duì)光源發(fā)生器進(jìn)行調(diào)試,整個(gè)測(cè)試也因此陷入停滯,大家都在等待。
看來他們的激光功率的確有問題,而且不像一時(shí)半刻能夠解決的樣子。
想到這里,高原走進(jìn)了項(xiàng)目辦公室。
由于是聯(lián)合項(xiàng)目,各家老總都來了,所以辦公室里人比較多,一個(gè)個(gè)都顯得很疲憊。
“杜所長(zhǎng)。”高原對(duì)長(zhǎng)春光機(jī)所的杜維明說道:“這次我們帶來了超紫外光源,實(shí)在不行,就先測(cè)試超紫外激光吧,光電所的深紫外放在后面測(cè)。”
高原帶了光源,這件事他早就通報(bào)過的,在場(chǎng)的人都很清楚。
只是大家心里都有點(diǎn)疑惑,超紫外光源是個(gè)什么東西?以前沒聽說過啊!
光電所做的光源叫紫外,或者說深紫外激光,波長(zhǎng)193nm,是目前全球應(yīng)用最廣泛的存在,從微米級(jí)芯片,一直到14nm芯片,都可以使用這種光源。
半導(dǎo)體代工巨頭臺(tái)積電,甚至用深紫外激光拿下了7nm工藝,令全球?yàn)橹鸷常瑥氐状蝽懥俗约喊雽?dǎo)體領(lǐng)域第一天王山的名號(hào)。
所以中科光電所測(cè)試深紫外光源,高原一點(diǎn)意見都沒有,這種光源雖然做不出頂級(jí)工藝,但勝在便宜啊,性價(jià)比高,并不是說高原拿出超紫外光源后,深紫外光源就不需要了。
合格的光刻機(jī)臺(tái),應(yīng)該同時(shí)兼容好幾種光源,好幾種工藝,所以高原讓中科光電所先測(cè)試深紫外光,打算等他們弄好了,再測(cè)試自己的超紫外。
誰知道光電所一整天下來,毫無進(jìn)展,這讓高原有點(diǎn)按捺不住了,提出讓光電所的工程師休息一下,人有時(shí)候就是這樣,越忙越忙,弄不好大家睡一覺,洗個(gè)熱水澡,茅塞頓開,困難就解決了。
杜維明蹙眉道:“把光源發(fā)生器拆下來,再換上你們的,恐怕要大半天時(shí)間呢,要不再等等吧,光源又不是電燈泡,換來?yè)Q去的很麻煩,而且每次拆裝,精度還要再次校準(zhǔn)。”
杜維明說的也是實(shí)話,光刻機(jī)又不是縫紉機(jī),不能整天拆來拆去的,稍微一動(dòng),精度就要重新校準(zhǔn),很麻煩的。
高原來的時(shí)候,光電所的深紫外光源,就已經(jīng)裝在測(cè)試機(jī)臺(tái)上了,否則高原一定會(huì)要求先測(cè)試自己的光源。
然而,這番對(duì)話讓光電院的龔欣迎院長(zhǎng),臉色一陣紅一陣白,有點(diǎn)坐不住了。
都是做科研的,龔院長(zhǎng)雖然一向?qū)黾瘓F(tuán)敬佩有加,但這也太傷人了吧!
好像純粹是因?yàn)樘闊琶銖?qiáng)讓自己的光源留在機(jī)臺(tái)上,要是拆裝容易的話,早就把自己的光源拆下來扔了!
你們行?
那你們就上吧!
超紫外激光?
開什么玩笑呢!
難道還能比荷蘭asml的極紫外更強(qiáng)!?
要知道,asml已經(jīng)把波長(zhǎng)干到了13.5nm,而傳統(tǒng)深紫外光是193nm,兩種光源之間,有著本質(zhì)的差別!
我就不信了!
你們昆侖集團(tuán)的這個(gè)什么超紫外光,也能做到13.5nm?
恐怕就是個(gè)名字而已吧!
昆侖集團(tuán)向來熱衷宣傳,給自己的產(chǎn)品和技術(shù),起一些匪夷所思的古怪名字。
明明是固態(tài)電池,卻叫昆侖晶石。
明明是復(fù)合碳纖維,卻叫昆侖暗星。
最離譜就是機(jī)械外骨骼,居然叫原子螞蟻?
你們以為自己是誰?
漫威里的超級(jí)英雄蟻人嗎?
龔院長(zhǎng)陰沉著臉,一瞬間諸多想法涌入大腦。
倒不是說針對(duì)高原,做科研的誰還沒有點(diǎn)怪脾氣?自己這邊實(shí)驗(yàn)還沒做完呢,高原就急著把自己替下來,實(shí)在很讓他沒有面子。
“杜所長(zhǎng),既然高老板有更先進(jìn)的光源,那就把我們的撤下來,換他們上吧。”龔院長(zhǎng)皺眉,沉聲說道。
“不急不急,兩種光源都要測(cè),還是先搞完你們的吧。”杜維明看龔院長(zhǎng)臉色不好,于是急忙打圓場(chǎng)道。
“沒關(guān)系,咱們搞科研的,向來是誰有本事誰上,我這就讓人動(dòng)手,把光源拆下去。”
龔院長(zhǎng)不由分說,從辦公室離開,吩咐手下拆激光發(fā)生器。
這些光電院的工程師們一陣驚愕,還沒測(cè)試完呢,怎么就拆了呢?
聽說是給昆侖集團(tuán)讓路,工程師們頓時(shí)沒了脾氣,誰讓人家本事大,光學(xué)系統(tǒng)做的漂亮呢,那套物鏡的精度,據(jù)說在一納米之下,簡(jiǎn)直堪稱完美。
盡管如此,光電院的工程師們心里還是有點(diǎn)不服氣,畢竟光學(xué)做得好,不代表激光也能搞定。
當(dāng)時(shí)間來到晚上,深紫外激光發(fā)射器已經(jīng)被拆掉了,換成了高原帶來的超紫外激光發(fā)射器,工程師們好不辛苦,用了整整一個(gè)白天,才完成光源的更換和校準(zhǔn)。
哎~
辛苦一點(diǎn)倒是沒什么,就盼望著能有好結(jié)果吧。
超紫外?
名字倒是夠拉風(fēng),就是不知道波長(zhǎng)多少,功率又是多少?
荷蘭asml已經(jīng)把這兩個(gè)最關(guān)鍵的參數(shù),做到了世所罕見的程度,才13.5nm的波長(zhǎng),功率更是達(dá)到了250w,用來曝光硅晶圓,效率簡(jiǎn)直不要太夸張。
要是昆侖集團(tuán)能用荷蘭asml一半的水準(zhǔn),就謝天謝地嘍。
砰~
隨著一道激光爆射而出,機(jī)臺(tái)再次點(diǎn)亮,過程非常順利。
片刻后,身穿白色防塵服的工程師,顫顫巍巍的雙手捧起十二寸硅晶圓,放在燈光下端詳。
無數(shù)玄奧繁雜的線條,宛如世界上最美妙的藝術(shù)品,令人心馳神往。
“又是一次點(diǎn)亮!?”
“這運(yùn)氣也太好了吧!”
“波長(zhǎng)多少?功率又是多少?”
“不清楚,具體參數(shù)在控制室里,不過我看晶圓曝光的程度,似乎遠(yuǎn)遠(yuǎn)好于之前。”
圍觀眾人議論紛紛,與此同時(shí),從控制室里傳來一陣喧囂,仿佛有野獸鉆進(jìn)了控制室,搞的里面一片雞飛狗跳。
“什么情況!?”
“他們似乎很高興的樣子?”
“或許參數(shù)比較不錯(cuò),所以他們才比較激動(dòng)吧。”
外面的眾人不明所以,紛紛用好奇的眼神看向控制室。
片刻后,帶著眼鏡的工程師推門走出,他將一張寫著參數(shù)的表格高高舉起,宛如舉起勝利的獎(jiǎng)杯。
“波長(zhǎng)1.5nm!”
“功率整整2000w!”眼鏡工程師雙目通紅,聲嘶力竭吼道:“昆侖集團(tuán)!牛逼!!!”
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